(ELECTRON PROBE MICRO ANALYZER (EPMA ایده اولیه و فکر تولید EPMA به آقای هیلر(1940) برمی گردد. بعدها این ایده توسط گاینیر و لستینگ (1949) عملی شد. دستگاه تولید شده microsond electronique نامیده شد. هدف طرح، بدست آودن یک آنالیز شمیایی کمی در روی میکروسکوپ های الکترونی بود. اولین دستگاه تجاری در فرانسه بنام CAMECA تولید شد و در دهه ی پنجاه سراسر آزمایشگاه های آمریکا و اروپا را در برگرفت. این دستگاه یک باریکه الکترونی با بزرگنمایی 1/10 تا 1 میکرومتر ایجاد می کند و یک WDS برای بررسی اشعه X در آن وجود دارد. در سال 1968 یک EDS نیز به آن اضافه شد. تلفیق دو دستگاه میکروسکوپ‌الکترونی ( SEM ) با دستگاه پراش‌دهنده اشعه ایکس (XRF) می‌باشد. کاربردها تشخیص نوع کانی ها و ویژگی های مواد (ترکیب شیمیایی کانی ها و تغییرات ترکیب شیمیایی در آنها) تصویرگیری (BSE, elemental mapping) ژئوترمومتری و ژئوبارومتری تعیین سن Pb کل در مونازیت LA-ICPMS نمونه ای از این پاورپوینت 50 اسلایدی را می توانید از اینجا دانلود کنید ...
پاورپوینت